走査型電子顕微鏡 SEM

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SEMは試料表面に電子線を照射し、試料から放出される二次電子や反射電子をとらえて数千倍から数万倍の拡大観察を行う装置です。金属材料はそのまま観察できますが、ゴムやプラスチック等の非導電性材料は電子線を照射すると電子がチャージアップしてしまうため導電コーティングの工程が必要となります。導電コーティングはイオンスパッタ装置を用いて短時間で行うことができます。また本校のSEMにはエネルギー分散型X線元素分析装置(EDS)が付属しており、SEMで試料の観察を行いながら元素の分布や存在割合を定量分析することも可能です。

地域連携テクノセンター3階構造分析室にあります。

setsubi_semSEMの外観

 

sem1SEMによる二次電子像(花粉)

 

sem2EDSによるステープラー鉄芯の元素マッピング